無錫純水設(shè)備分享半導(dǎo)體清洗超純水設(shè)備的工作原理及工藝流程

無錫綠禾盛環(huán)?？萍加邢薰臼且患覍I(yè)從事水處理設(shè)備設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試、技術(shù)開發(fā)及配套材料銷售的公司,工程設(shè)備包括工業(yè)純水及超純水設(shè)備,海水淡化設(shè)備等.下面無錫純水設(shè)備分享半導(dǎo)體清洗超純水設(shè)備的工作原理及工藝流程.

2022-11-13 20:38:46無錫綠禾盛環(huán)?？萍加邢薰?/span>824

無錫綠禾盛環(huán)保科技有限公司是一家專業(yè)從事水處理設(shè)備設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試、技術(shù)開發(fā)及配套材料銷售的公司,工程設(shè)備包括工業(yè)純水及超純水設(shè)備,海水淡化設(shè)備等.下面無錫純水設(shè)備分享半導(dǎo)體清洗超純水設(shè)備的工作原理及工藝流程.

一、半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備概述

半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備主要應(yīng)用在半導(dǎo)體清洗行業(yè)，綠禾盛環(huán)保該設(shè)備采用先進(jìn)的反滲透技術(shù)和EDI技術(shù)，保證設(shè)備的質(zhì)量和出水水質(zhì)。無錫綠禾盛整體采用先進(jìn)的不銹鋼材腐蝕能力強(qiáng)，同時(shí)也不會(huì)出現(xiàn)生銹問題，質(zhì)量可靠，受到用戶的一致好評。

無錫純水設(shè)備.jpg

二、半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備工作原理

EDI裝置將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。EDI工作原理如下圖所示。EDI組件中將一定數(shù)量的EDI單元間用網(wǎng)狀物隔開，形成濃水室。又在單元組兩端設(shè)置陰/陽電極。在直流電的推動(dòng)下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進(jìn)入到濃水室而在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統(tǒng)，成為濃水.EDI設(shè)備一般以反滲透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電導(dǎo)率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以高達(dá)18MΩ.cm(25℃)，但是根據(jù)去離子水用途和系統(tǒng)配置設(shè)置，EDI純水適用于制備電阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。

三、半導(dǎo)體清洗用超純水設(shè)備制備工藝
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥18MΩ.CM)(較新工藝)
3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥17MΩ.CM)(較新工藝)
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥15MΩ.CM)(較新工藝)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水點(diǎn)。(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

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